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奧林巴斯STM7測量顯微鏡

簡要描述:奧林巴斯測量顯微鏡,奧林巴斯STM7測量顯微鏡系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,此外,像差也被*全消除,以確保實現(xiàn)對微小細節(jié)的高精度測量。

  • 更新時間:2024-04-19
  • 產(chǎn)品型號:STM7
詳細介紹

通過整合光學(xué)顯微鏡和憲進的測量能力實現(xiàn)靖準(zhǔn)測量

奧林巴斯STM7測量顯微鏡系列采用了當(dāng)前先近光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,此外,像差也被萬全消除,以確保實現(xiàn)對微小細節(jié)的測量

 

為了進一步保證測量精度,采用了一個配備花崗巖基座的高度耐用和防振動的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性,使測量可到達亞微米水平,同時確保更大程度地降低誤差。

花崗巖精雕細琢而成的載物臺基座增強了測量的可靠性

作為高度測量的先鋒,繼續(xù)提供簡單易操作3軸測量


共聚焦自動對焦系統(tǒng)光路

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量,而且Z軸方向測量也成為必須。奧林巴斯成為成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動反射、共聚焦方法的自動聚焦系統(tǒng)的公司,以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。

嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過一個嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的靖準(zhǔn)度。并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。

測量顯微鏡跟蹤系統(tǒng)

設(shè)計注重易用性
提供載物臺以適合眼下的樣本大小
[常見問題]
? 短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。
? 目前為止,大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費事費時,效率不高。
? 由于可測量的范圍窄,無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上,以實現(xiàn)一致性同時測量。

[STM7解決方案]
共有四種正方形測量行程的載物臺可供選用,分別為:50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。
? 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動,并且可以在XY平面上自由穿梭。
? 300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程,這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實現(xiàn)大型樣品的全部測量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。

使用相同的顯微鏡進行低倍率和高倍率觀察
[常見問題]
大部分傳統(tǒng)的測量顯微鏡只可以專也測量物鏡或?qū)S媒鹣辔镧R,無法同時滿足多種觀察要求。

[STM7解決方案]

可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡,而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后,便可使用金相物鏡。這意味著, STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測量光學(xué)系統(tǒng)同時結(jié)合在一臺測量顯微鏡中。通過這種方式,無l是測量大型樣品還是精細樣品,或是表面高度差異大的樣品,STM7系列都可以對應(yīng)并協(xié)助用戶選擇更佳的觀察方法。

測量物鏡
由于測量物鏡具有非常長的工作距離,因此可以在對表面起伏較大的樣品進行聚焦的時候,無需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外,借助測量物鏡的低倍率能力,可以一次觀察到較大的視場。

金相物鏡
可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是,在明場觀察之外還可以對應(yīng)暗場,偏光和微分干涉觀察。

手動和電動調(diào)焦模式的選擇
包括手動調(diào)焦和電動調(diào)焦兩個系列

對于Z軸的上下調(diào)焦,有手動型和電動型兩種系列供您選擇。請根據(jù)樣品和測量內(nèi)容選擇符合您需求的機型,而不需要考慮載物臺的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標(biāo)尺,各種型號STM7都可以對應(yīng)3軸測量。

 

手動Z軸調(diào)焦機型提供了成本效益——通過操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕,可以快速的上下移動Z軸。為測量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。

電動Z軸調(diào)焦機型

使用電動調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性,并減少了進行聚焦和高度測量時的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計使使用者可以以習(xí)慣的類似手動的方式進行操作,同時電動機型還可以配備自動聚焦單元。

一個具有突破性設(shè)計的控制單元大幅提升了測量顯微鏡的操作性
[常見問題]

? 增加功能時需要添置額外的操作單元。操作者需要同時操作多個單元而導(dǎo)致無法搞效率地進行測量。操作時也經(jīng)常會發(fā)生找不到操作單元的情況。

[STM7解決方案]
控制裝置
對于STM7系列,只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測量顯微鏡操作,包括重置計數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動聚焦等功能。為了提搞效率和方便性,您可以將裝置放在任何想要放置的位置,并可以輕松地單手操作。

用于手動Z軸調(diào)焦機型:
STM7-HS手動操作裝置

用于電動Z軸調(diào)焦機型:
STM7-MCZ電動操作裝置

控制箱
各個單元的電源和通信均被集成在一個單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置,這樣的設(shè)計可以更大程度地減少占用工作空間。

大大提高了觀察和測量效率的光源管理器
[常見問題]
? 傳統(tǒng)測量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實現(xiàn)光強的定量控制。這樣每次測量時的光強無法保持,導(dǎo)致測量值也發(fā)
生變化。
? 使用傳統(tǒng)測量顯微鏡時,每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強,這使得工作流程非常低效。

[STM7解決方案]
能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示

 

奧林巴斯STM7測量顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)光強的定量數(shù)字化顯示,保證了能在照明條件下實施觀察。

物鏡切換時,無需手動調(diào)節(jié)光強
光強度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤會自動識別目前使用的物鏡,結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)值功能,可以為每個物鏡注冊照明方式和光強。這樣每當(dāng)切換物鏡后,可以自動調(diào)節(jié)光強和調(diào)整照明方式。象以前每次切換倍率后手動調(diào)節(jié)光強的操作,現(xiàn)在就可以省略了。


5倍
強度50


20X
強度70


100X
強度120

可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計數(shù)器,確保能迅速地檢查測量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)。

[常見問題]
需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運行狀以及測量結(jié)果時,因為是在不同單元上顯示使操作變得非常繁瑣。
[STM7解決方案]
能一目了然確認當(dāng)前狀態(tài)的計數(shù)器
計數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈,可以簡單的實現(xiàn)對設(shè)備當(dāng)前設(shè)定狀態(tài)的確認。X、Y和Z軸的蕞小單位可以在0.1 μm和1 μm之間切換,此外,還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。

可滿足個性化需求自由放置的可拆卸式計數(shù)器
無l是安裝在鏡架上還是放置在工作臺上,可拆卸式計數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習(xí)慣放置在適合位置。當(dāng)用戶站著進行測量時,可以將計數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè),以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當(dāng)用戶通過數(shù)碼相機在顯示器上進行觀察和測量,或使用電動Z軸調(diào)焦機型時,只需將計數(shù)器和操作裝置放在工作臺上即可輕松地坐在椅子上進行作業(yè)。

計數(shù)器安裝在鏡架上

計數(shù)器放置在工作臺上

高度測量:聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)
實現(xiàn)更快、更簡單、更靖確的高度測量
[[常見問題]

進行目視測量時,不同的操作者會測得不同的高度測量值。此外,這種測量方法非常耗時,效率低下。

[STM7解決方案]
通過將圖案投影在視場范圍內(nèi),由操作者確認上下圖案的重合情況,奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測量操作。普通的目測觀察進行高度測量時,即使是看上去非常清晰的已經(jīng)合焦的圖像,也會出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng),只需匹配標(biāo)記便可進行測量,因此減少了操作者的主觀性對測量結(jié)果造成的影響。
目視高度測量
聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)


焦點下方


焦點位置


焦點上方

自動聚焦的優(yōu)勢成就快速、高度測量
[常見問題]

? 進行目視測量時,不同的操作者得出的高度測量結(jié)果也會不一樣。
? 手動高度測量需要操作者反復(fù)進行移動載物臺,使用旋鈕調(diào)焦的操作,這使測量既耗時又低效。
? 很難對微小的物體聚焦,比如引線。

[STM7解決方案]
快速聚焦和不受操作者主觀影響的測量
奧林巴斯開發(fā)了STM7系列專用的自動聚焦單元,該單元在實現(xiàn)快速聚焦的同時,保證了靖準(zhǔn)的對焦重復(fù)性。因此,無l操作者的經(jīng)驗如何,均可以在很短的時間內(nèi)實現(xiàn)高度測量。無l操作者的經(jīng)驗如何,使用STM7專用自動對焦單元均可以在z短時間內(nèi)實現(xiàn)高度測量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面,利用主動反射、共聚焦方法都可以實現(xiàn)穩(wěn)定對焦,而小直徑的激光,也能保證對微小物體,比如引線的自動對焦。

單次對焦模式
執(zhí)行自動聚焦后,可瞬間完成從大致的聚焦?fàn)顟B(tài)轉(zhuǎn)為視場中心的清晰對焦。
跟蹤模式
啟用具有特色的追蹤模式后會隨樣品表面的高低起伏自動對焦,即使在移動工作臺的情況下,也可以始終保持合焦?fàn)顟B(tài)。這使得操作者在手不需要離開X和Y手柄的情況下也能實施觀察,從而提高了Z軸的測量效率。

拓寬了測量觀察范圍的配件
編碼物鏡轉(zhuǎn)換器

 

將編碼物鏡轉(zhuǎn)盤與數(shù)碼照相機配套使用可以在觀察過程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率,以方便您記錄倍率。同時切換倍率時也能與軟件中記錄的校準(zhǔn)值和光強連動調(diào)整設(shè)置。有明場物鏡和明暗場物鏡兩種供您選擇。

MM6-EMO正像單目鏡筒

 

正立圖像用單目鏡筒??膳cMM6-OCC10×(帶十字線的目鏡)配套使用。

STM7-FS腳踏開關(guān)

 

實現(xiàn)了不需要用手進行數(shù)據(jù)傳輸,使操作者可以在手不離開X和Y手柄的情況下完成測量。

SZ-LW61白光LED照明裝置

 

具有小型,輕便,使用壽命長,功耗低等特點。此外,這款高性價比的LED照明單元也不會發(fā)生閃爍和亮度波動。

SZX2-ILR66+ SZX-RHS LED環(huán)形照明+手動控制裝置

 

SZX-RHS手動控制單元可以實現(xiàn)SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨立照明,并提供具有較高色溫的清晰圖像。可以從13種模式中選擇更佳的照明。

旋轉(zhuǎn)載物臺
使用微調(diào)旋鈕可以輕松實現(xiàn)對樣品的平行對齊。

STM7-RS100
STM7-CS100 100mm×100mm載物臺

STM7-RS200
STM7-CS200 200mm×200mm載物臺

STM7-RS300
STM7-CS300 300mm×300mm載物臺

測量支持系統(tǒng)
即使對復(fù)雜形狀也能實現(xiàn)更快、更簡單的測量
對于顯示測量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來說,看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測量。高復(fù)雜性的測量,奧林巴斯測量軟件可以和數(shù)碼照相機結(jié)合使用。

STM7規(guī)格

 

小型手動鏡架
STM7-SF

小型電動鏡架
STM7-SFA

中型手動鏡架
STM7-MF

中型電動鏡架
STM7-MAF

大型手動鏡架
STM7-LF

大型鏡架
STM7-LFA

顯微鏡
鏡架


聚焦

垂直移動范圍

175 mm

145 mm

蕞大的測量高度

120 mm(配備測量物鏡)
175 mm(配備金相物鏡)

90 mm(配備測量物鏡)
145 mm*1(配備金相物鏡)

Z軸測量分辨率

0.1 μm

Z軸驅(qū)動方法

手動同軸
微調(diào)/粗調(diào)
焦旋鈕

電馬達驅(qū)動:
●聚焦按鈕:
移動速度
8 mm/s(蕞大)
●微/粗調(diào)焦旋鈕:
微調(diào)焦速度(旋轉(zhuǎn)
一周移動量)
有4檔可供選擇
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm)

手動同軸
微調(diào)/粗調(diào)
焦旋鈕

電馬達驅(qū)動:
●聚焦按鈕:
移動速度
8 mm/s(蕞大)
●微/粗調(diào)焦旋鈕:
微調(diào)焦速度(旋轉(zhuǎn)
一周移動量)
有4檔可供選擇
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm)

手動同軸
微調(diào)/粗調(diào)
焦旋鈕

電馬達驅(qū)動:
●聚焦按鈕:
移動速度
8 mm/s(蕞大)
●微/粗調(diào)焦旋鈕:
微調(diào)焦速度(旋轉(zhuǎn)
一周移動量)
有4檔可供選擇
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm)

照明

LED照明

白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明

鏡筒

正像單目鏡筒,正像三目鏡筒(100:0/0:100)

物鏡

測量顯微鏡用

MM6-OB系列

金相顯微鏡用

MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列

目鏡

MM6-OCC10X (帶十字線, FN 22), MM6-O C10X (FN 22)

載物臺

測量范圍

STM7-CS50:
X軸 50 mm, Y軸 50 mm
STM7-CS100:
X軸 100 mm, Y軸 100 mm

STM7-CS200:
X軸 200 mm, Y軸 200 mm

STM7-CS300:
X軸 300 mm, Y軸 300 mm

測量靖準(zhǔn)度
(L:測量長度)

STM7-CS50: (3+L/50) μm
STM7-CS100: (3+2L/100) μm

(3+4L/200) μm

(3+6L/200) μm

保證重量

STM7-CS50: 5 kg
STM7-CS100: 6 kg

10 kg

15 kg

計數(shù)器顯示

軸數(shù)

3軸

單位

毫米/微米/英寸/密耳

蕞小分辨率

0.1 μm

外形尺寸(寬×長×高)(mm)

466 x 583
x651

466 x 583 x 811

606 x 762 x 651

606 x 762 x 811

804 x 1024 x 686

804 x 1024 x 844

重量

約84 kg

約92 kg

約152 kg

約159 kg

約277 kg

約284 kg

額定功率

100-120/220-
240V ~
50/60Hz
0.3A/0.2A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A

*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時,可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。

物鏡工作距離

倍率

1x

3x

5x

10x

20x

50x

100x

物鏡

測量物鏡

MM6-OB系列

59.6

76.8

65.4

50.5

-

-

-

金相物鏡

MPLFLN系列

明場

-

-

20.0

11.0

3.1

1.0

1.0

LMPLFLN系列

長工作距離

-

-

22.5

21.0

12.0

10.6

3.4

MPLFLN-BD系列

明場/暗場

-

-

12.0

6.5

3.0

1.0

1.0

LMPLFLN-BD系列

明場/暗場
長工作距離

-

-

15.0

10.0

12.0

10.6

3.3

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